Amtech系统

扩散业务由两项业务组成。第一个和公司总部一起位于美国亚利桑那州的坦佩。Tempe设计、制造和销售IBAL自动化机器人系统，用于从所有品牌的现有和新的半导体扩散炉中自动装载和卸载硅晶圆，温度高达1350摄氏度。该业务还生产专利ATMOSCAN系统，特别是设计的悬臂扩散工艺管，用于控制硅晶圆周围环境中的氧气、水分和颗粒，并保护它们免受从炉芯卸载时温度的突然变化。这些产品也以1级负载站的形式作为完整的系统出售，并与扩散炉的销售相结合。